Inline Magnetron Sputtering system
ʻO ka mīkini hoʻoheheʻe magnetron inline ka mea nui DC (a i ʻole MF) hiki ke hoʻololi ʻia ka uhi ʻana o ka magnetron sputtering i kahi ākea o nā pahuhopu, e like me: copper, titanium, chromium, stainless steel, nickel a me nā mea metala ʻē aʻe i hiki ke uhi ʻia me ka hoʻohana ʻana i kahi kaʻina sputtering. hiki ke hoʻomaikaʻi i ke kiʻiʻoniʻoni adhesion, reproducibility, density, uniformity a me nā ʻano ʻē aʻe.
- a.ʻO nā hiʻohiʻona kumu a me nā palena
- b.Hiki ke ho'okō 'ia ka ho'olālā laina i ka manawa like i uhi 'ia ma kekahi 'ao'ao
- c.ka hana pono, ka wikiwiki wikiwiki a hiki i ka 1 min / beat
- d.hoʻolālā modular, mālama maʻalahi
- e.plating kaʻina oʻo, kiʻekiʻe yield
- f.Hiki ke ʻokoʻa ka DC magnetron sputtering cathodes ma muli o nā koi o ka mea kūʻai aku
- g.ʻO ka ʻōnaehana vacuum i loko o kahi pauma mechanical, Pum aʻa, pamu diffusion (pam molecular) Hoʻohui.
- h.Hiki ke ʻokoʻa ka nui o ke kino laina ma muli o nā koi o ka mea kūʻai aku
- 1) Ua hoʻohana ʻia nā mea kino o ke keʻena ma ka SUS304, e hoʻolalelale ana i ka hoʻomaʻamaʻa ʻana i ka paia o ke keʻena ʻāwīwī, ʻo ka hoʻoheheʻe ʻia ʻana o ka pā i waho.
- 2) Ke hoʻohana nei i kahi kīwī puka kūʻokoʻa ma waena o ke keʻena māmā - ʻo flapper valve kaʻawale, hiki ke ʻoki pono, hoʻopaʻa i ke kaʻina hana.I kēia manawa, hoʻohana kā mākou hui i ka hoʻolālā flapper valve, ʻoi aku ka maikaʻi o ka hoʻopaʻa ʻana, ʻoi aku ka lōʻihi ma mua o ka valve flap maʻamau i kēia manawa.
- 3) Hoʻohana ka hoʻouna ʻana i ke alakaʻi magnetic, pale i ka paʻa o ke kaʻa.No kēlā me kēia wikiwiki o ka laina hana holoʻokoʻa me ka hoʻohana ʻana i ka kaʻa kaʻa VVVF, hiki ke hoʻololi i ka wikiwiki holo.
- 4) Pūnaehana Manaʻo Uila: Touch Screen a me PLC mana aunoa, kamaʻilio kanaka-mīkini e hoʻokō i ka ʻōnaehana hōʻike ʻikepili, nā ʻāpana hana a me ka ʻenehana mana.
- 1) ʻO ke kaomi maloʻo hope loa: 6 × 1 0E-4 Pa
- 2) ke kaʻina hana maʻamau: e like me ka huahana i hoʻoholo ʻia
- 3) ʻO ka nui o ka mea paʻa substrate: hiki ke hoʻopili ʻia e like me nā koi o
- 4) Hoʻohui like kiʻiʻoniʻoni: ± 3% ua hoʻonui nui ʻia ka hoʻohana ʻana i ka pahuhopu
- ʻO ka hoʻolālā hoʻolālā hoʻokaʻawale ʻia e kūpono i ka hoʻoponopono ʻana.
E kākau i kāu leka ma aneʻi a hoʻouna mai iā mākou
