mīkini pani PVD liʻiliʻi no nā wati
Palapala noi
Hoʻopuka mākou i nā mīkini hoʻopili PVD liʻiliʻi no nā mea hoʻonaninani i nā mea liʻiliʻi, e like me nā mea nani, nā pūpū wati, a me nā mea ʻē aʻe.
Palapala noi
• Ka hoʻolālā holoʻokoʻa: ʻO ka puka mua kū pololei, ka puka i mua o ke alo, ka ʻōnaehana hoʻoheheʻe ma hope
• Mea Hana: Hana ʻia ka lua i ke kila kila SUS304 kiʻekiʻe
• Ion arc source: Hoʻolako 'ia me nā pūʻulu he nui o ka mana arc e like me ka nui o ka lako
• Ka mana hoʻopololei: Hoʻolako ʻia me ka mana kiʻekiʻe o ka mana hoʻokahi manawa
• Nā pahuhopu nui-arc: ʻO nā pūʻulu he nui o ka titanium a i ʻole nā pahu kila kila ma ke ʻano maʻamau
• Pūnaehana hoʻololi: Ka hoʻoponopono ʻana i ka wikiwiki o ka alapine, ka hui pū ʻana o ke kipi a me ka hoʻololi ʻana, ka hoʻouna ʻana i luna a i ʻole ka hoʻouna haʻahaʻa.
• Pūnaehana hoʻoheheʻe (mea hoʻonani hoʻonani): ʻO ka pauma diffusion (koho molecular koho) + Pum aʻa + pauma mechanical
• Ka mana kinoea: Multi-way gas mass flow control system
• Pūnaehana hoʻomehana: ka uhi hoʻonani 150 ℃ ka mana wela PID hiki ke hoʻololi a hiki ke hoʻopaʻa ʻia
• Ka mana naʻauao: PLC mana akamai + HMI piha kala hoʻopāʻokoʻa, e hoʻokō piha 'akomi logic mana.
• Alarm a me ka pale: Alarm ma lalo o nā kūlana kūpono ʻole a hoʻokō i nā ʻano pale e pili ana.
Palapala noi
Ka hui o ka mīkini PVD:
- Vacuumkeena:
- Nā papa ʻelua o ke keʻena maloʻo no ka hoʻokaʻawale ʻana i nā huahana mehana ma ke kaʻina hana arc deposition.Maikaʻi welded vacuum keʻena me ka leakage kumu ma mua o 10 makahiki o ka hana 'ana i nā mea ho'ohehe'e.
- Cathodes:
- Copper core arc cathodes no ka maikaʻi o ka conductivity no ke kaʻina hana deposition arc.Hoʻemi ʻia ka pilikia Droplet e ka hoʻolālā kūikawā a me ke kumu mana i hoʻolālā ʻia no ka hoʻopaʻa ʻana arc.
- Carousel:
- Hoʻolālā ʻia ʻo Carousel e like me kāu mau substrate no ka hopena deposition maikaʻi aʻe.
- Pūnaehana pahū
- ʻO nā paila kīʻaha kiʻekiʻe no ka hiki ke paʻa paʻa a hoʻomau i ka loaʻa ʻana o ka ʻōpala kiʻekiʻe.Loaʻa ka pauma molecular a me ka diffusion pump no kāu koho.
- Nā kumu mana
- Ke koho nei mākou i nā kumu mana mai nā mea hana hilinaʻi e hōʻoiaʻiʻo i ka mana pololei, ka manawa a me ka volta e loaʻa ai nā uhi PVD kiʻekiʻe.
- Pūnaehana mana PLC:
- ʻO ka papa hoʻopā piha me ka papa hana maʻalahi, loaʻa ka mana Pelekane.
- Hiki ke hoʻopaʻa ʻia nā mea ʻai maʻamau i ka ʻōnaehana a no ka koho wikiwiki.
- Pūnaehana hāʻawi kinoea
- Kiʻekiʻe kiʻekiʻe kiʻekiʻe kiʻekiʻe kahe kahe kahe e hoʻomalu i ka hana kinoea i ka wā PVD uhi.
